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凈化車間的高精三恒系統(tǒng)控制措施
來源：smercurio.com 發(fā)布時間：2019年07月29日

我的介紹。

高精度恒溫恒濕空調(diào)技術(shù)相對成熟，但對高水平的無塵車間來說是一個缺乏實踐和經(jīng)驗的課題。由于需要保持較高的潔凈度，通風(fēng)比常規(guī)空調(diào)房間大得多，使得潔凈室的高精度恒溫恒濕控制具有獨特之處。

為了滿足高水平、高精度的技術(shù)指標(biāo)，保持良好的系統(tǒng)調(diào)整質(zhì)量，還需要考慮降低初始投資和日常運營費用等經(jīng)濟因素，使設(shè)計更加困難。本文以實際工程為例，從設(shè)計、安裝、調(diào)試的全過程，介紹了綜合解決上述問題所采取的相應(yīng)措施和解決方案，以及最終的實際效果。

2. 高精度恒溫恒濕無塵車間的技術(shù)要求及設(shè)計方案

電子部某研究所恒溫恒濕潔凈室主要技術(shù)指標(biāo)(圖1)如下:

清潔水平:美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209EM3.5(即習(xí)慣水平為100)

潔凈室有效空間:2.5m (L)×2.0m (W)×2.5m (H)

室內(nèi)溫度:21±0.1℃

室內(nèi)濕度:Υ55±5%

套間參數(shù):潔凈度為美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS-209E M6.5級(即定制的10萬英寸級)，溫度為25±2℃

由于建筑條件的限制，考慮潔凈室的氣流組織方案只能采用水平平行流動方式。由于氣流方向尺寸較小，截面風(fēng)速設(shè)計速度為0.28m/s，略低于常規(guī)值和換風(fēng)量。已高達(dá)400AC/h空氣供給墻上覆蓋著一個高效空氣過濾器,和對面墻上是一個風(fēng)格格柵(如圖1)。滿足所需的空氣供給和通風(fēng)時間恒定的溫度和濕度精度遠(yuǎn)低于所需的通風(fēng)凈化水平。因此，不可避免地要采用二次回風(fēng)方案。

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